10月18日，湖北興福電子材料股份有限公司獲悉，該公司于今年二季度新投入試生產(chǎn)4萬噸電子級(jí)硫酸產(chǎn)線，截止目前，該產(chǎn)線已基本達(dá)產(chǎn)達(dá)效。產(chǎn)出的電子級(jí)硫酸產(chǎn)品的關(guān)鍵指標(biāo)Fe、Cr、Ni等金屬離子小于5ppt，30nm顆粒度低于50pcs/mL，達(dá)到G5等級(jí)，品質(zhì)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，并且成功出貨供應(yīng)國(guó)內(nèi)主流芯片企業(yè)。

電子級(jí)硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸，是一種微電子技術(shù)發(fā)展過程中不可缺少的關(guān)鍵基礎(chǔ)化學(xué)試劑，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、超大規(guī)模集成電路領(lǐng)域。高品質(zhì)電子級(jí)硫酸制備的關(guān)鍵技術(shù)長(zhǎng)期被美國(guó)、德國(guó)和日本等國(guó)家壟斷，我國(guó)長(zhǎng)期依賴進(jìn)口，隨著國(guó)內(nèi)28nm及以下先進(jìn)制程的量產(chǎn)，進(jìn)一步加劇超高品質(zhì)電子級(jí)硫酸短缺的局面，嚴(yán)重影響我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展。
興福電子自2017年第一套電子級(jí)硫酸生產(chǎn)線建成以來，圍繞電子級(jí)硫酸生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)與應(yīng)用領(lǐng)域，通過5年的工藝創(chuàng)新及技術(shù)攻關(guān)，已掌握超高純電子級(jí)硫酸制備和微納顆粒脫除等系列關(guān)鍵技術(shù)，可穩(wěn)定生產(chǎn)供應(yīng)G5等級(jí)的電子級(jí)硫酸產(chǎn)品。
據(jù)了解，此前，興福電子已在國(guó)內(nèi)率先實(shí)現(xiàn)28nm及以下先進(jìn)制程用超高純電子級(jí)硫酸批量生產(chǎn)，成功供應(yīng)國(guó)內(nèi)外知名半導(dǎo)體企業(yè)，打破了國(guó)際壟斷。4萬噸電子級(jí)硫酸產(chǎn)線正式投產(chǎn)后，興福電子將擁有 6萬噸/年電子級(jí)硫酸產(chǎn)能，成為目前國(guó)內(nèi)產(chǎn)能規(guī)模最大的電子級(jí)硫酸生產(chǎn)企業(yè)。

此外，該公司還擁有電子級(jí)磷酸、功能性配方化學(xué)品等多品類濕電子化學(xué)品，其自主開發(fā)的電子級(jí)磷酸產(chǎn)品同樣打破了國(guó)際壟斷。據(jù)介紹，經(jīng)過十余年的技術(shù)革新，目前公司電子級(jí)磷酸產(chǎn)品關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)Fe等金屬離子達(dá)到3ppb以內(nèi)，并成功應(yīng)用于國(guó)際先進(jìn)的芯片產(chǎn)線。據(jù)初步估算，該公司電子級(jí)磷酸產(chǎn)品國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率超60%，并大量出口海外客戶。與此同時(shí)，該公司的硅蝕刻液，金屬蝕刻液、BOE蝕刻液、以及清洗液等功能性配方化學(xué)品，產(chǎn)品品質(zhì)達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平，并且穩(wěn)定供應(yīng)國(guó)內(nèi)外知名芯片企業(yè)。近年來，該公司致力于打造國(guó)際一流的芯片用電子化學(xué)品產(chǎn)業(yè)基地，持續(xù)加強(qiáng)電子化學(xué)品 核心技術(shù)的開發(fā)升級(jí)和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，已成長(zhǎng)為國(guó)內(nèi)濕電子化學(xué)品行業(yè)頭部企業(yè)。